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掃描電子顯微鏡儀器維護方法
掃描電子顯微鏡（SEM）的維護需重點關(guān)注電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、探測器及樣品室等關(guān)鍵部件的保養(yǎng)。以下是具體維護方法
電子光學(xué)系統(tǒng)維護
1：燈絲更換?：鎢燈絲壽命約100-200小時，場發(fā)射槍燈絲壽命約1000-2000小時，需定期檢查電流穩(wěn)定性并按時更換。 ?
2：電磁透鏡維護?：確保電源穩(wěn)定并避免外部磁場干擾，定期檢查電流穩(wěn)定性和磁場強度。 ??
真空系統(tǒng)維護
1.泵油檢查?：機械泵油每6個月更換，分子泵潤滑脂每年更換，日常需監(jiān)測油位和泵效。 ?
2.真空度校準?：長期未用需啟動真空泵逐步提升真空度至10??~10?? Pa，并監(jiān)測真空曲線變化。 ?
探測器維護
1：清潔與校準?：二次電子探測器和背散射探測器需用氮氣或軟毛刷除塵，每月通過標準樣品校準靈敏度。 ?
樣品室維護
1：日常清潔?：每次實驗后用無塵紙或酒精擦拭樣品臺、探頭及腔體內(nèi)壁，禁用有機溶劑。 ?
2：深度清潔?：每月用超聲波清洗可拆卸部件，氮氣吹干后重新安裝并測試運動精度。 ?
環(huán)境控制
1：溫濕度?：實驗室溫度保持18~25℃，濕度≤60%，避免設(shè)備受潮或過熱。 ?
2：防塵防震?：設(shè)備需置于防震臺上，遠離門窗和熱源，配備HEPA濾網(wǎng)。 ?
長期未用呵護
每周通電初始化控制系統(tǒng)并觀察指示燈狀態(tài)
啟動真空泵運行8小時并監(jiān)測真空曲線
重新安裝燈絲并進行老化校準 ?
